透過型電子顕微鏡(TEM)分析用の自動高スループット試料調製ワークフロー。

ExSolve Wafer TEM Prep (WTP)は、大幅にコストを低減し、試料調製速度を向上させます。これにより、半導体メーカーとデータストレージメーカーは、プロセス性能の確認および監視に必要なデータにすぐに簡単にアクセスすることができます。ExSolveは、サイト固有のTEM層板を調製することができます。その際には、ファブ内で1ウェハー当たり多くのサイトを完全に自動化したプロセスでサンプリングするので、半導体メーカーは従来の手法と比較して、はるかに多くの情報を得ます。それと同時に、試料調製の資本コストを最大70パーセント低減します。